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立博官网: 超纯水设备在晶圆级芯片领域的应用

文章出处:作者:发表时间:2020-12-16 16:32:33

   晶圆制造是半导体产业链的核心环节,对核心技术、研发人才和资金的门槛要求很高。目前,随着消费电子产品的普及,更新迭代速度越来越快,对芯片的要求也越来越高。这使得国内半导体产业持续快速发展,带动晶圆代工市场不断完善。

  由于半导体元件集成度高,生产线窄,对水质的要求特别高,超纯水成为了电子行业用水的“标配”。立博官网超纯水设备出水水质完全符合我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、12MΩ.cm、0.5MΩ.cm四级标准)等国内外大规模集成电路水质标准,引领行业进入新时代。

超纯水设备

  传统的超纯水生产工艺通常采用离子交换树脂,但需要频繁的进行树脂再生,不仅要消耗物力,还要消耗劳动力。经过多年的实践,立博官网采用反渗透水处理设备和电去离子(EDI)设备及抛光混床相结合的方式生产超纯水。这是一种生产超纯水的新工艺,也是一种环保、经济和发展潜力较大的超纯水制备工艺,与传统方法相比,该设备具有以下优势:

  1、无需使用任何再生化学品进行再生,减少了化学品运输问题,同时降低了系统运行费用。

  2、无需中和药剂。EDI膜块不会有酸碱废液产生,所以不需要酸碱中和池,一般情况下,EDI进水为二级反渗透产水,水质较好,即使经过EDI系统的浓缩之后,EDI的浓水水质仍然优于一级反渗透产水,所以EDI浓水可以回流至一级反渗透产水箱。

  3、整套系统运行成本较低。这是因为反渗透没有酸碱再生,减少了相关费用的产生。

  4、水资源利用率高。与其他生产厂家相比,立博官网通过使用更大通量的膜元件,搭载极限分离技术,使得反渗透设备的回收率更高。

  5、可以连续工作,无需树脂更换,自动化性能强,无需人工操作。

  6、设计结构紧凑,占地面积。沧胺奖。

  立博官网超纯水设备具有抗污染能力强、节能环保、产水水质稳定、脱盐率高、系统内无死水等优势,出水水质符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。立博官网专注电子超纯水领域,是集研发设计、设备制造、工程施工、运营维护为一体的环保解决方案服务商。我们秉承"科学创新,技术先进,以人为本,客户至上"的经营服务理念,为客户提供不但买得起,还能用得起,更能用得好的环保解决方案!

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